TEX E.G テックスイージー

オリフラ合わせ機

MEASURES

オリフラ合わせ機 WA-8A+WA-12A

高速度タイプ・非接触式・コントローラー内蔵・コンパクト設計・
ワンチャック方式・各サイズ(12インチ/300mmまで)対応・チッピング検査対応

製品特長

  • ウェハ各サイズ(12インチ/300mmまで)対応。
  • ワンチャック方式ですので、チャックマークが一つしかつきません。
  • 外装の色・材質は、お客様仕様に各種対応可能です。
  • チャックの素材は、ピーク(黒)をご用意してあります。
  • チッピング検査にも対応可能(8インチのみ・別仕様)です。
  • 処理時間標準5秒の高速度タイプです。

製品仕様

WA-8A

WA-12A

  WA-8A外観図 WA-12A外観図
ウェハサイズ
(外部信号により切替) 
(インチ) φ4, 5, 6, 8 φ8, 12
(mm) 100, 125, 150, 200 200, 300
外径寸法
幅 × 奥行 × 高さ
(mm) 200×240×215 200×290×215
本体重量 約 8Kg 約 9Kg
分解能 半径方向 0.0125mm,  角度 0.03°
精度 半径方向 0.100mm,  角度 0.1°
通信機能 RS232C
オリフラ角度指定 0 ~ 360°
処理時間 8インチシリコンウェハ最大6秒・通常約5秒・リセット1秒
電源 AC 100V ・ 50/60Hz ・ 2A
真空源 -66.5 kPa ( -500mmHg ) 以下
ウェハ中心補正 ±5mm以下となります
本体カバー SUS磨き
2011.12月
プリント用画面

ご希望にあわせた仕様変更なども可能です。お気軽にお問合せください。
電話 : 042-785-3500
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