TEX E.G テックスイージー

オリフラ合わせ機

MEASURES

オリフラ合わせ機 WA-8AG+WA-12AG

高速度タイプ・コントローラー内蔵・コンパクト設計
エッジコンタクト・ウェハプリアラインメント装置

製品特長

  • ウェハ各サイズ(8インチ/200mm,12インチ/300mm)に対応します。
  • ガラス(透明)ウェハに対応しています。

製品仕様

WA-8AG

WA-12AG

ウェハサイズ
(外部信号により切替) 
(インチ) φ4, 5, 6, 8 φ8, 12
(mm) 100, 125, 150, 200 200, 300
外径寸法
幅 × 奥行 × 高さ
(mm) 200×240×215 200×290×215
本体重量 約 8Kg 約 9Kg
分解能 半径方向 0.0125mm,  角度 0.03°
精度 半径方向 0.100mm,  角度 0.1°
通信機能 RS232C
オリフラ角度指定 0 ~ 360°
処理時間 8インチシリコンウェハ最大6秒・通常約5秒・リセット1秒
電源 AC 100V ・ 50/60Hz ・ 2A
真空源 -66.5 kPa ( -500mmHg ) 以下
ウェハ中心補正 ±5mm以下となります
本体カバー SUS磨き
2011.12月
プリント用画面

ご希望にあわせた仕様変更なども可能です。お気軽にお問合せください。
電話 : 042-785-3500
E-mail :info@texeg.co.jp