MEASURES

オリフラ合わせ機 WA-8AG+WA-12AG

高速度タイプ・コントローラー内蔵・コンパクト設計
エッジコンタクト・ウェハプリアラインメント装置

製品特長

製品仕様

WA-8AG

WA-12AG

ウェハサイズ
(外部信号により切替) 
(インチ) φ4, 5, 6, 8 φ8, 12
(mm) 100, 125, 150, 200 200, 300
外径寸法
幅 × 奥行 × 高さ
(mm) 200×240×215 200×290×215
本体重量 約 8Kg 約 9Kg
分解能 半径方向 0.0125mm,  角度 0.03°
精度 半径方向 0.100mm,  角度 0.1°
通信機能 RS232C
オリフラ角度指定 0 ~ 360°
処理時間 8インチシリコンウェハ最大6秒・通常約5秒・リセット1秒
電源 AC 100V ・ 50/60Hz ・ 2A
真空源 -66.5 kPa ( -500mmHg ) 以下
ウェハ中心補正 ±5mm以下となります
本体カバー SUS磨き
2011.12月