TEX E.G テックスイージー

アシストアーム

Assist Aarm

アシストアーム

長いアームを持ちながら、高剛性を兼備え
高精度な位置決めを実現しました。
10世代の液晶パネル用フォトマスクに対応し
各種工程、検査装置に確実にマスクを搬送します。

製品特長

  • 手元スイッチにてマスクを上昇、下降させハンドルを持つことで自由な位置に運ぶことができます。
  • 作業手順は手元のモニターにより対話方式で表示され操作が誰にでも簡単に行えます。
  • 他装置とも通信することができ、マスクの情報を製造ラインに反映させ生産管理が大変便利になります。
  • お客様の仕様に合わせ、カスタマイズすることができ、いろいろな場面に対応することができます。

製品仕様


TA8500

  CAD図
1.搬送可能
マスクサイズ
X方向=700mm(最小)~1500mm(最大)
Y方向=500mm(最小)~1500mm(最大)
厚み=8mm~15mm 最大搬送重量=約90Kg以下
2.マスク搬送
高さ
マスクの下辺が 400mm~1250mmまで対応
(※軌道設置後は 480mm~1330mmまで対応)
3.ハンド部 (1) ハンド形状
マスク下側の中央に60mm幅で1個、上側には左右に600mmピッチで30mm幅の爪が2個あります。(ハンド外観図参照)
(2) マスク接触部材材料:黒デルリン
3点クランプ独立駆動、クランプ力制御
(3) 上爪駆動=サーボモータ+クリーンアクチュエーター(ボールネジ)
(4) 上爪ストローク=1050mm
(5) 下爪駆動=サーボモータ+ボールネジ
(6) 下爪ストローク=50mm
4.チルト部 (1) 基本操作(条件メニュー選択等)をするためのタッチパネル付き
(2) ハンド部の姿勢制御するためのハンドル付き(操作は人)で、ハンドルには握ったまま搬送を行うための手元スイッチが有ります。
(3) 非常停止スイッチ付き
5.制御部 (1) シグナルタワー(赤色ブザー付き)装備
6.アーム部 (1) 構成は旋回部→Z軸部→第1アーム→第2アーム
(2) 旋回ストローク=316度
(3) Z軸ストローク=840mm
(4) Z軸駆動方法=ボールネジ+サーボモータ、負荷質量の軽減にはカウンターウエイトを使用します。
(5) 第1アームと第2アームの関節部には、マスクをチルトするときに押し戻される力を支えるためのブレーキを設けます。ブレーキ操作はスイッチにて行います。
(6) ハンド部の回転ロックはゴミの出ない構造とします。
7.チルト駆動部 (1) ストローク=19度
(2) 駆動方式=ボールネジ+サーボモータ
8.分電盤部 工場一次側から分電盤内部端子台で受けアシストアームへ電力供給します。分電盤内部にアシストアームのメインブレーカが配置されます。
9.安全対策及びゴミ対策 (1) アシストアームをキャッチャーにセット時(Z軸動作時)、誤って違う部分に衝突させた場合、安全バンパーが動作し、モーターを停止させます。
(2) 条件選択(搬送装置、マスクサイズ、板厚、その他)後の受渡し操作は全て、手元スイッチにて行えます。またそのスイッチは点滅しているスイッチを順番に押すことによって、受渡しができます。
(3) 装置操作途中に不具合が見つかった場合(人による確認)は、その状態から、逆動作に切り替え可能とします。
(4) ハンド部の上爪の駆動部には、クリーンルーム用アクチュエータを使用し、内部を真空ポンプで吸引します。
(5) ボールネジ、LMガイドのグリースはクリーン対応品を使用し、余分な油はふき取ります。
10.ログ機能 (1) オペレータの操作や各モーターが動作した等の動作履歴を日時と一緒に記録します。
(2) 記録件数は35件
(3) 動作履歴とは別にアラームの履歴を日時と一緒に記録します。記録件数は30件(表示は28件まで)
11.ユーティリティ (1) 電力:3相200V 4線 30A
メインブレーカ:分電盤内部に漏電遮断器内蔵
(型式 NV63-CW-3P-30A-30mA 三菱)
(2) 真空:真空ポンプ付属(型式 VP0940A メドー産業)
※固定方法:グレーチング下の根太にC型クランプで固定



TA8500C

  CAD図
1.搬送可能
マスクサイズ
X方向=750mm(最小)~1620mm(最大)
Y方向=500mm(最小)~1500mm(最大)
厚み=6mm~18mm 最大搬送重量=約90Kg以下
2.マスク搬送
高さ
マスクの下辺が 400mm~1250mmまで対応
(※軌道設置後は 480mm~1330mmまで対応)
3.ハンド部 (1) ハンド形状
マスク下側の中央に30mm幅で1個、上側には左右に600mmピッチで30mm幅の爪が2個あります。(ハンド外観図参照)
(2) クランプ/アンクランプ方法
(3) 上爪駆動=サーボモータ+クリーンアクチュエーター(ボールネジ)
(4) 上爪ストローク=1050mm
(5) 下爪駆動=サーボモータ+ボールネジ
(6) 下爪ストローク=550mm
4.チルト部 (1) 基本操作(条件メニュー選択等)をするためのタッチパネル付き
(2) ハンド部の姿勢制御するためのハンドル付き(操作は人)で、ハンドルには握ったまま搬送を行うための手元スイッチが有ります。
(3) 非常停止スイッチ付き
5.制御部 (1) PCL制御(三菱電機社製)
(2) シグナルタワー(赤色ブザー付き)装備
6.アーム部 (1) 構成は旋回部→Z軸部→第1アーム→第2アーム
(2) アーム部+ハンド部+マスクの重量を持ち上げる為のアシストシリンダ装備。シリンダの力は5項の電空レギュレータにより制御します。
(3) 旋回ストローク=316度
(4) Z軸ストローク=840mm
(5) Z軸駆動方法=ボールネジ+サーボモータ
(6) 第1アームと第2アームの関節部には、マスクをチルトするときに押し戻される力を支えるためのブレーキを設けます。ブレーキ操作はスイッチにて行います。ハンド部と第2アームの回転ロックはゴミの出ない構造とします。
7.チルト駆動部 (1) ストローク=19度
(2) 駆動方式=ボールネジ+サーボモータ
8.ローリング機構部 (1) ストローク=±0.2°
(2) 駆動方式=偏芯カム+サーボモータ
9.分電盤部 工場一次側から分電盤内部端子台で受けアシストアームへ電力供給します。分電盤内部にアシストアームのメインブレーカが配置されます。
10.安全対策及びゴミ対策 (1) Z軸可動部の自重はシリンダによりキャンセルされます。そのため少ないトルクで、動かせます。(他装置の負荷幻滅)
(2) アシストアームをキャッチャーにセット時(Z軸動作時)、誤って違う部分に衝突させた場合、安全バンパーが動作し、モーターを停止させます。
(3) 条件選択(搬送装置、マスクサイズ、板厚、その他)後の受渡し操作は全て、手元スイッチにて行えます。またそのスイッチは点滅しているスイッチを順番に押すことによって、受渡しができます。
(4) 装置操作途中に不具合が見つかった場合(人による確認)は、その状態から、逆動作に切り替え可能とします。
(5) ハンド部の上爪の駆動部には、クリーンルーム用アクチュエータを使用し、内部を真空ポンプで吸引します。
(6) ボールネジ、LMガイドのグリースはクリーン対応品を使用し、余分な油はふき取ります。
(7)アシストアームのロック機能はゴミの出ない構造とします。
11.ログ機能 (1) オペレータの操作や各モーターが動作した等の動作履歴を日時と一緒に記録します。
(2) 記録件数は35件
(3) 動作履歴とは別にアラームの履歴を日時と一緒に記録します。記録件数は30件(表示は28件まで)
12.ユーティリティ (1) 電力:3相200V 4線 30A
メインブレーカ:分電盤内部に漏電遮断器内蔵
(型式 NV63-CW-3P-30A-30mA 三菱)
(2) 真空:真空ポンプ付属(型式 VP0940A メドー産業)
※固定方法:グレーチング下の根太にC型クランプで固定
2017年10月
プリント用画面

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