1987年	１月	東京都大田区で、半導体製造設備の開発・販売を目的とし設立
1989年		オリフラ合わせ機を開発・販売開始
1991年		資本金 1,000万円に増資
1992年		本社を神奈川県相模原市に移転
1993年		同市内に社屋を購入し、移転
1996年		オートローダーシステムを開発・生産体制拡充
1997年		同市内に工場を新設、電子冷却技術開発開始
1999年		工場に「技術センター」を開設
2000年	6月	クローズド・リンク・ロボット開発開始
2000年	9月	電子冷蔵庫海外生産開始 東京都町田市に本社屋移転。本社・技術センターを統合 資本金 3,500万円に増資
2001年	3月	オリフラ合わせ機（12インチタイプ）販売開始
2004年	2月	液晶大型フォトマスク搬送装置（アシストアーム）開発
2005年	6月	DVDテレ冷蔵庫開発
2005年	8月	資本金6,500万円に増資
2006年	6月	ロボッ庫開発
2006年	12月	新社屋に本社移転
2007年	8月	中国シンセン市に独資法人シンセン泰克斯機電有限公司
2010年	1月	資本金7,100万円に増資
2011年	3月	ペルチェ冷却ビールサーバー販売開始
2011年	12月	反りウエハ対応オリフラ合わせ機販売開始
2012年	1月	オリフラ合わせ機Ｕシリーズ販売開始
2012年	4月	組立型ペルチェ式恒温槽販売開始
2014年	2月	EXCサーバースリムタイプ開発
2014年	11月	香港泰克斯有限公司株式取得、子会社化
2016年	2月	資本金7,138万円に増資
2017年	5月	TEXEG TP（第二工場）開設