TEMPERATURE CONTROLLING
温度をあやつる技術
| 製品説明 | アシストアームは、近年大型化する液晶パネル・有機 EL パネル用のフォトマスクを、安全かつ正確に生産装置へ搬送するための補助装置です。 オペレーターは、アシストアームのモニターに沿って操作できるので負担は軽減します。また、この標準型の他に、生産装置の仕様に応じてお選びいただける、下爪の動作範囲を大きくしたセンター基準タイプもご用意しました。）
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| 基本仕様 | (1)搬送マスクサイズ
Ｘ方向=８００mm(最小)～１５５０mm(最大) Ｙ方向=５００mm(最小)～１５００mm(最大) 厚さ=5mm(最小)～13mm(最大) |
| ハンド部 |
(1)ハンド形状 ●マスククランプ爪はマスク下側中央に 60mm幅で1個、 上側は爪幅３０mm で左右に2個あります。 (2)クランプ／アンクランプ方法 上下の爪は各独立したモーターにより駆動し、 上爪は一定のトルクでマスクをクランプします。 (3)上爪駆動＝サーボモーター＋クリーンアクチュエーター （ボールネジ） (4)上爪上下ストローク＝１０５０mm (5)下爪駆動＝サーボモーター＋ボールネジ (6)下爪上下ストローク＝３０mm (7)マスククランプ爪（マスク接触部）材質＝黒デルリン 黒デルリンの取り付けはサイドでネジ止めするタイプです。
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| チルト部 | (1)基本操作（条件メニュー選択等）をするためのタッチパネル付き
(2)人が操作するハンド部には、姿勢制御のハンドルを採用。握ったまま搬送を行える 手元スイッチを備えています。 (3)人から出る埃から装置を保護するフード付き (4)非常停止スイッチ付き |
| 制御部 | (1)PLC制御(三菱電機社製)
(2)パトライト（ブザー付き）装備 |
| アーム部 | (1)構成は旋回部→Ｚ軸部→第１アーム→第２アーム
(2)アーム部、ハンド部をキャンセルするための重りを装備し、シリンダー及び電空レギ ュレーターは使用しません。 (3)旋回ストローク＝３１６° (4)Ｚ軸ストローク＝８４０mm (5)Ｚ軸駆動方法＝ボールネジ＋サーボモーター (6)第 1 アームと第 2 アームの関節部には、マスクをチルトする時に押し戻される力を支えるため、 電磁ブレーキを設けています。ブレーキ操作はスイッチにて行います。 |
| チルト駆動部 | (1)ストローク＝１９°
(2)駆動方法＝ボールネジ＋サーボモーター |
| ローリング機構部 | (1)ストローク＝約±0.2°
(2)駆動方法＝偏芯カム＋サーボモーター |
| 安全対策及びゴミ対策 | (1)Ｚ軸可動部の自重は重りによりキャンセルされます。そのため少ないトルクで、動かせます。
(2)アシストアームをキャッチャーにセット時（Ｚ軸動作時）、誤って違う部分に衝突させた場合、 安全バンパーが動作し、モーターを停止させます。 (3)条件選択（搬送装置、マスクサイズ、板厚、材質、その他）後の受渡し操作は全て、手元スイッチにて行えます。 また、点滅しているスイッチを順番に押すことによって、受渡しできます。 (4)装置操作途中に不具合が見つかった場合（人による確認）は、その状態から、逆動作に切り換え可能とします。 (5)ハンド部上下爪駆動部には、クリーンルーム対応とし、内部のゴミを真空ポンプで吸引します。 (6)ボールネジ、LMガイドのグリースはクリーン対応品を使用し、余分な油は拭き取ります。 (7)アシストアームのロック機構はゴミの出ない構造とします。 |
| その他の機能 | (1)ハンド部のサーボドライバーは、視界の妨げとならないように上部に配置します。 また発塵無きようカバーをします。
(2)マスクを受け渡すためのチルト動作は、スイッチを押している状態のみ動作し、スイッチを離すと停止します。 |
