TEMPERATURE CONTROLLING
温度をあやつる技術
製品情報
プリアライメントユニット WAシリーズは、シリコンウェハを運ぶ際の「芯出しと位置決め」を行うユニットです。テックスイージーでは、ウェハの端を検出する独自技術を最大限に活用。その精度は、±0.05mm以内。他社では対応できない品種にも向き合い、多様化するニーズに応じた専用機を製作することも可能です。
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温度をあやつる技術
搬送システム技術
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