ウェハサイズ（外部信号により切替え）	φ4, 5, 6, 8（インチ）　100, 125, 150, 200（mm）
外径寸法（幅 × 奥行 × 高さ）	W200mm × H240mm × D215mm
本体重量	約 8 Kg
分解能	半径方向 0.0125mm, 角度 0.03°
精度	半径方向 0.100mm, 角度 0.1°
通信機能	RS232C
オリフラ角度指定	0 ～ 360°
処理時間	8インチシリコンウェハ最大6秒・通常約5秒・リセット1秒
電源	AC 100V ・ 50/60Hz ・ 2A
真空源	-66.5 kPa （ -500mmHg ） 以下
ウェハ中心補正	±5mm以下となります。
本体カバー	SUS磨き